半導(dao)體(ti)制(zhi)造業流(liu)傳(chuan)著(zhu)一句(ju)話：“這不(bu)是(shi)火箭(jian)(jian)科(ke)學(xue)，但(dan)比火箭(jian)(jian)科(ke)學(xue)難(nan)多了！"雖是(shi)玩笑話，卻從一定程度上反映了事實：半導(dao)體(ti)制(zhi)造過程既復(fu)雜又耗時(shi)，制(zhi)造周(zhou)期長達 12 到 20 周(zhou)。制(zhi)造半導(dao)體(ti)所需(xu)的初期投(tou)資巨大，制(zhi)造流(liu)程需(xu)要(yao)(yao)的設備(bei)非常昂貴(gui)。在(zai)新一輪投(tou)資周(zhou)期開始(shi)之前，一個制(zhi)造周(zhou)期通常會持續大約(yue)六(liu)年，并且整個生產(chan)過程的利潤率相對(dui)較(jiao)低(di)，這意味著(zhu)只有高產(chan)量才能保證盈利。因(yin)此，避免生產(chan)廢(fei)品和不(bu)良品至關(guan)重要(yao)(yao)。

水(shui)(shui)是半(ban)導體(ti)(ti)制造(zao)(zao)過程中(zhong)影響較大的(de)污染物之一，一些預估表明，不合適的(de)濕(shi)(shi)度條件(jian)造(zao)(zao)成的(de)損(sun)失(shi)(shi)占收入(ru)損(sun)失(shi)(shi)的(de) 25%。為(wei)避免產(chan)品質量(liang)和(he)(he)(he)產(chan)量(liang)出現問題，在半(ban)導體(ti)(ti)制造(zao)(zao)過程中(zhong)必須尤為(wei)謹慎地監測濕(shi)(shi)度和(he)(he)(he)溫度水(shui)(shui)平(ping)。維(wei)薩(sa)拉的(de)高精(jing)度測量(liang)解決方(fang)案適用(yong)于制造(zao)(zao)工(gong)藝流程中(zhong)的(de)關鍵(jian)步驟，響應非常(chang)迅(xun)速(su)，且能夠適應各種環境條件(jian)。在本篇文章(zhang)中(zhong)，我們(men)將介紹濕(shi)(shi)度、水(shui)(shui)分(fen)、微量(liang)水(shui)(shui)分(fen)相關濕(shi)(shi)度、露點和(he)(he)(he)霜點等(deng)參數。

高科技納米級半導體制造

對(dui)于高(gao)科(ke)技納(na)米(mi)級半導體制造(zao)等超純應(ying)用(yong)，在去除灰(hui)塵、油脂(zhi)和其他污染(ran)元素等雜質后(hou)，可能(neng)會殘留(liu)微量(liang)(liang)(liang)(liang)水(shui)分(fen)。這可能(neng)會對(dui)產(chan)品質量(liang)(liang)(liang)(liang)和產(chan)量(liang)(liang)(liang)(liang)產(chan)生負面影響。雖(sui)然不可能(neng)全消除流程(cheng)中(zhong)的每一個水(shui)分(fen)子，但(dan)我們應(ying)該借助準確(que)測量(liang)(liang)(liang)(liang)工具很(hen)大程(cheng)度上(shang)減少水(shui)分(fen)含量(liang)(liang)(liang)(liang)。

潔凈室暖通空調

潔(jie)凈室暖(nuan)通(tong)空調 (HVAC) 系統通(tong)常(chang)內置在空氣處理裝(zhuang)置或(huo)風扇過濾裝(zhuang)置中。水分可能(neng)會污染工藝(yi)(yi)過程、與工藝(yi)(yi)過程中的(de)化(hua)學品發(fa)生反應或(huo)導致靜電放電 (ESD) 問題。某些情(qing)況下需要達到 +/?2% 的(de)相(xiang)對濕度(du)(du)測(ce)量準(zhun)(zhun)確度(du)(du)以及 +/?0.25°C 的(de)溫度(du)(du)測(ce)量準(zhun)(zhun)確度(du)(du)。維薩拉變送(song)器非常(chang)適合用于控制通(tong)風機內部或(huo)潔(jie)凈室墻壁上的(de)空調機。

根據在(zai)潔凈室中進(jin)行(xing)的(de)工藝(yi)過程，目(mu)標(biao)濕(shi)度和(he)溫度可能(neng)有所不同。維(wei)薩(sa)拉(la)的(de) HUMICAP® 傳感(gan)器(qi)技術(shu)在(zai)任何環境(jing)下(xia)的(de)響應(ying)都非常迅(xun)速，而且準確(que)度高，具有出(chu)色的(de)長期穩定(ding)性和(he)較長的(de)維(wei)護間隔(ge)。HUMICAP 傳感(gan)器(qi)基于聚合物(wu)薄膜技術(shu)，并且在(zai)維(wei)薩(sa)拉(la)自(zi)己的(de)潔凈室中制造。

工藝管線氣體質量

潔凈室操(cao)作(zuo)需要高(gao)質量(liang)的過程氣(qi)(qi)體，監(jian)測工(gong)藝(yi)(yi)管線氣(qi)(qi)體中的濕度(du)水平可(ke)防止可(ke)能導致材料損失的水分污染。目標通常是盡量(liang)降低含(han)水率，為此要監(jian)測的正確(que)參數是露點(dian)。選擇傳感器時(shi)，響應速度(du)快和耐冷凝(ning)特性(xing)非常重要，因為這二(er)者有助于(yu)確(que)保可(ke)靠(kao)操(cao)作(zuo)，即使(shi)在長時(shi)間停機后還能實現工(gong)藝(yi)(yi)過程平穩加速。

維薩拉 DRYCAP® 技術采用(yong)(yong)我們專有(you)的聚合(he)物(wu)薄膜技術，該技術可實現(xian)高靈敏(min)度、針對各種環境和應用(yong)(yong)進(jin)行靈活優(you)化，即使(shi)在(zai)惡劣環境下也(ye)具有(you)長(chang)期(qi)穩定(ding)性。凈化功能可以去除薄膜中不需要的殘留物(wu)，即使(shi)在(zai)次優(you)條件下也(ye)能確保長(chang)期(qi)準確度。

維薩(sa)拉自動(dong)校準功能(neng)(neng)(neng)使(shi)(shi)(shi)用專有設(she)計(ji)和算(suan)法，可(ke)消除環境老化對傳感器結構的影響(xiang)(xiang)。長期監(jian)測傳感器性能(neng)(neng)(neng)有助于傳感器糾(jiu)正靈(ling)敏度變化，提(ti)高長期穩定性，使(shi)(shi)(shi)其(qi)使(shi)(shi)(shi)用壽命(ming)遠遠超(chao)出(chu)傳統的傳感器，并減少惡劣環境條件對其(qi)性能(neng)(neng)(neng)的影響(xiang)(xiang)。維薩(sa)拉傳感器響(xiang)(xiang)應速度快(kuai)，能(neng)(neng)(neng)夠在系統發生故障時迅速做出(chu)反應以防止材料損失。

壓縮空氣質量

壓縮空氣潔凈度(du)對于大多數工(gong)業設施的潔凈室環境至關(guan)重要，因此目標(biao)多余水(shui)(shui)分(fen)含量非(fei)常(chang)低：目標(biao)露點水(shui)(shui)平可低于 ?80 °C，通常(chang)系統(tong)會設置多個警報(bao)級別，一旦(dan)超出(chu)此目標(biao)水(shui)(shui)平即(ji)發出(chu)警報(bao)。維薩拉產品在整個測(ce)量范圍內都(dou)經過(guo)嚴格測(ce)試和(he)校準，以(yi)確保(bao)傳感器讀(du)數高度(du)準確，降低高成本的過(guo)度(du)干燥風險。維薩拉濕(shi)度(du)傳感器單元的響應非(fei)常(chang)迅速(su)(su)，可以(yi)及時發出(chu)警報(bao)，使客戶能夠快速(su)(su)識別和(he)解決任何(he)問題。