背景：

　　半導體芯(xin)片對現代(dai)社(she)會的(de)(de)重要(yao)(yao)性(xing)(xing)不言而喻，是支持5G，物(wu)聯(lian)網，AI，自動駕駛汽車，智能穿(chuan)戴等市場(chang)發展的(de)(de)關鍵因素。隨著芯(xin)片尺寸的(de)(de)減小和(he)更加精密，制(zhi)造工藝要(yao)(yao)求也越來(lai)越精細，更嚴(yan)格的(de)(de)規范(fan)和(he)生產誤(wu)差。反(fan)過來(lai)，這(zhe)將更加依賴(lai)于監測和(he)控(kong)制(zhi)工藝條件的(de)(de)傳感器和(he)儀器性(xing)(xing)能，盡可能降低減產或整批晶圓報(bao)廢的(de)(de)風險。

　　被稱為半(ban)導體“血(xue)液"的(de)電子氣體是(shi)芯(xin)片(pian)制(zhi)造(zao)業的(de)良好選擇，它參與(yu)蝕刻、清洗、外(wai)延生長、離子注入(ru)等(deng)各個環節(jie)。它的(de)純度影響(xiang)集成(cheng)電路的(de)性能、集成(cheng)度、成(cheng)品率等(deng)，隨著芯(xin)片(pian)制(zhi)造(zao)工(gong)藝的(de)小型化，半(ban)導體生產對電子氣體的(de)純度提出了更高(gao)的(de)要求。相關文章見電子氣體純度監測。

　　氣(qi)體(ti)中的(de)(de)露(lu)點(dian)測量(liang)是(shi)(shi)一(yi)個挑戰，以99.9999%的(de)(de)高純氮(dan)氣(qi)為例(li)，其水分(fen)含量(liang)低于(yu)1ppm，也(ye)就是(shi)(shi)100萬個氣(qi)體(ti)分(fen)子中，不到1個水分(fen)子。如此微量(liang)的(de)(de)水分(fen)子含量(liang)，對濕度傳(chuan)感器(qi)(qi)的(de)(de)靈敏(min)度和準確(que)性都是(shi)(shi)一(yi)個真(zhen)正(zheng)的(de)(de)考驗(yan)。在(zai)過往，高精度的(de)(de)水分(fen)儀往往伴隨著(zhu)高成本，而隨著(zhu)金屬氧化物陶瓷濕度傳(chuan)感器(qi)(qi)的(de)(de)開發，在(zai)精度和成本上的(de)(de)選擇不再(zai)是(shi)(shi)魚和熊掌不能兼得的(de)(de)困境。

　　金屬氧化物陶瓷濕度傳感器：

　　密析爾(er)研發的(de)金屬氧化(hua)物(wu)陶(tao)瓷(ci)濕(shi)(shi)度(du)傳感(gan)器(qi)技(ji)術(shu)，借鑒半(ban)導(dao)體領(ling)域的(de)厚(hou)薄(bo)膜技(ji)術(shu)，把整個傳感(gan)器(qi)構(gou)建在堅固穩(wen)定(ding)的(de)陶(tao)瓷(ci)基座上。基于多孔感(gan)濕(shi)(shi)層對水(shui)分(fen)子的(de)吸收(shou)，通過感(gan)受水(shui)氣(qi)分(fen)壓得出（工況下）水(shui)露點(dian)值(zhi)。該吸濕(shi)(shi)活性層如同“三明治(zhi)"一樣被(bei)夾在陶(tao)瓷(ci)基底上的(de)兩個導(dao)電層之(zhi)間，厚(hou)度(du)僅不到(dao)一微米，而頂部金箔層只允許(xu)水(shui)分(fen)子自(zi)由(you)進入(ru)傳感(gan)器(qi)，且與多孔導(dao)電層相比更(geng)薄(bo)。因此，當周圍環境的(de)濕(shi)(shi)度(du)發生變化(hua)的(de)時候，傳感(gan)器(qi)對濕(shi)(shi)度(du)變化(hua)會有非常(chang)靈敏的(de)反應。它能夠(gou)檢測超(chao)高(gao)純度(du)氣(qi)體中低至百(bai)萬分(fen)之(zhi)幾的(de)微量(liang)水(shui)分(fen)含量(liang)。

　　高純氣體露點變送器：

　　基(ji)于金屬氧化(hua)物陶(tao)瓷(ci)濕度傳(chuan)感器(qi)技術，密析(xi)爾(er)推出了應用于不(bu)同環境的(de)水分(fen)儀。今年(nian)推出的(de)新品Pura Advanced Online 2高純氣體露(lu)點變送器(qi)對半導體生(sheng)產商來說是一個不(bu)錯(cuo)的(de)選擇，可以在(zai)化(hua)學氣相沉(chen)積、蝕(shi)刻等生(sheng)產過程中監測露(lu)點。

　　Pura具有(you)很好的穩定性(xing)和重復性(xing)，可以測量低至-120°Cdp，在(zai)-60°Cdp時精度為±1°C，對過(guo)程環境(jing)的變(bian)化可以快速響(xiang)應。此外(wai)，新傳感器(qi)還提供本(ben)安(an)版(ban)本(ben)，具有(you)ATEX，UKCA和IECEx認證。

　　根據客戶(hu)的應(ying)用要求和(he)預算(suan)，Pura高純氣體露點變送器可配先(xian)進(jin)、經濟的顯示表。

　　隨著芯片變得越來(lai)越小和更加精(jing)密，選擇能(neng)夠保(bao)證(zheng)一致的生產環境，符合嚴格(ge)工(gong)藝流程的儀(yi)器很關(guan)鍵。Pura Advanced Online 2等儀(yi)器能(neng)夠幫助廠(chang)商滿足日益嚴苛的要(yao)求。